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液晶パネル構造

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液晶パネルの構造と透明電極膜bunya_densi2_01

液晶を表示するには、液晶をサンドイッチした透明な電極が必要です。この電極に電圧をかけると液晶の分子構造の変化によって光は遮断され、逆に電圧をかけないと光が通ります。この電圧をかけるために必要となるのが、非常に多くの小さな電極が敷きつめてある「透明な電極膜」です。
液晶ディスプレイは、この「透明な電極膜」を 電極毎に信号でコントロールし液晶の分子構造を変化させて画像を映し出しています。 「透明な電極膜」は表示の妨げとならないよう透明度の高い製品が要求され、表示液晶の鮮明さ、美しさにも影響するとても薄い膜なのです。
それでは、ITO粉がどのような工程で透明電極膜へ変化するのでしょうか。

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透明電極膜ができるまでbunya_densi2_02

物質に薄い膜をつけるにはスパッタリングという薄膜形成技術が用いられます。スパッタリングに必要なターゲット材の原料となるのが「ITO粉」です。

スパッタリングとは

スパッタリングとは、真空容器中にアルゴンガスを導入し、高電圧によってグロー放電を発生させ、イオン化したAr+をターゲットにぶつけ、そのエネルギーで原子または分子状の材料をはじき飛ばし、対向したガラス基板状に薄膜を形成する技術です。

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